據(jù)了解，《超光滑表面無損檢測儀》是國家“十三五”重點研發(fā)計劃重大科學儀器設備開發(fā)項目，分別獲得國家科技部2000萬元、成都高新區(qū)200萬元資金支持，由企業(yè)牽頭，協(xié)同國內多家技術實力雄厚的大學、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學、研、用相結合的項目團隊共同實施。超光滑表面無損檢測儀主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數(shù)的快速檢測，還可應用于大型現(xiàn)代光學工程系統(tǒng)。

　　據(jù)介紹，該項目將通過專項帶動，集成國內優(yōu)勢力量重點創(chuàng)新，解決高精度超光滑表面無損檢測的關鍵技術瓶頸，實現(xiàn)高端超光滑表面無損檢測儀器國產(chǎn)化，替代國外同類產(chǎn)品，打破國外公司的技術壟斷和價格壁壘。

　　成都高新區(qū)科技局相關負責人表示，獲得國家重大科技創(chuàng)新項目立項支持且項目國撥資金到位的成都高新區(qū)企業(yè)，可按照國撥資金實際到位額的10%進行配套資助申請，同一項目申請金額高不超過200萬元，同一家企業(yè)同一年度申請該類資金額度高不超過200萬元。

　　“未來五年，成都高新區(qū)將每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持*大學科研成果在區(qū)內轉化;每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持國內外專業(yè)企業(yè)研發(fā)中心在區(qū)內落戶;每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持引進高端人才到成都高新區(qū)發(fā)展。”

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